에스엔텍, ‘반도체 공정진단 시스템’ 사업 초읽기

[서울=뉴스핌] 이민주 기자 = 에스엔텍의 ‘반도체 공정진단 시스템(SoW. Sensor on Wafer)’ 사업이 본 궤도에 오르고 있다. 에스엔텍은 SoW 양산을 위해 최근 시화공단 입주계약을 체결했다고 15일 밝혔다.

에스엔텍은 해당 공장에 대한 환경 인허가 승인 획득 후, 양산 준비 공사 및 국내외 주요 고객사 테스트를 거쳐 가을께부터 양산을 시작한다는 계획이다.

SoW는 웨이퍼 형태로 챔버 내 온도 및 플라즈마 상태를 실시간으로 측정해주는 센서로, 반도체 미세공정화로 제조공정상의 정밀 진단∙제어 시스템 수요가 확대됨에 따라 그 시장 성장이 기대되는 소모성 아이템이다.

에스엔텍 관계자는 “SoW는, 기존 장비사업 위주의 사업구조를 보완하기 위한 부품∙소재사업 육성의 일환으로 오랜 기간 준비해 온 아이템 가운데 하나”라며 “글로벌 독점 구도를 해소함으로써 반도체 전공정 진단∙제어 시스템의 국산화에 적게나마 기여하고자 한다”고 말했다.

에스엔텍은 또한, “SoW 사업을 발판으로 향후 시장 확대 가능성이 큰 정밀공정 진단∙제어 시스템의 다양한 응용 분야를 장기적으로 개척해가고자 한다”고 밝혔다.

한편, 에스엔텍은 최근 ‘플라즈마 측정용 웨이퍼’ 4건에 대한 PCT(특허협력조약: Patent Cooperation Treaty) 국제출원을 마치고, PCT 국제출원은 다수의 PCT 가입국을 상대로 국제출원일을 인정받음으로써 선(先)출원에 대한 우선권을 인정받을 수 있는 제도이다.

에스엔텍은 지난 2017년 4월 산업통상자원부가 주관하는 ‘실시간 반도체 공정 상태 진단을 위한 웨이퍼형 공정진단 시스템 개발’ 국책과제에 선정되어 연구개발을 진행해오고 있다.